干式螺杆真空泵的应用领域

点击次数:   更新时间:19/07/29 10:32:07     来源:www.tpheet.com关闭分    享:
  干式螺杆真空泵是技术含量非常高的科技产品,主要应用于高纯净的真空工艺过程,真空度极高,可适应恶劣工况,具有抽取凝性、含颗粒物气体的能力,特别适宜于洁净环境,且易做防腐处理。
  1.干式螺杆真空泵除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;
  2.干式螺杆真空泵化工、医药、食品中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,防止有机溶剂污染;
  3.干式螺杆真空泵用作一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。
  4.干式螺杆真空泵低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺,半导体刻蚀工艺。
  干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合,极限真空更高,消耗功率更低,具有节能,免维修等优点。它是传统真空泵的更新换代产品,用作一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。
  小编:Nicki
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